北京大学先进光子集成平台收费标准与收费办法
北京大学先进光子集成平台是为了满足北京大学校内及校内外师生开展微尺度器件制备和纳米科技研究而建立的公共技术平台。平台收取的超净间基础使用费、培训费用、测试加工费用仅为维持平台运行的基本开销，对于校内用户和校外用户采用如下标准进行收费（以60分钟作为计费最小单位）。
| 仪器名称 | 仪器说明 | 校内用户收费标准 | 校外用户收费标准 | 培训费用 | 设备管理人 | 设备实际联系人 |
ELS-F125 电子束曝光机 |
设备加速电压125kV，可改善低导电基片的曝光效果，1nA束流下最小线宽8 nm，写场大小500 微米。样品台支持多尺寸基片的曝光和晶圆级尺寸曝光。 | 1200元/小时 | 1500元/小时 | 1200元/人 | 杨康江 电话：18800128574 |
王非凡 电话：18810521574 |
ZEISS GeminiSEM 300 扫描电镜 |
二次电子分辨率：0.7nm@15kV, 1.2nm@1kV,背散射电子分辨率：1.2nm@1kV。电压范围：0.5kV-30kV。 | 500元/小时 | 800元/小时 | 800元/人 | 杨康江 电话：18800128574 |
张子璇 电话：18811658621 |
DE5500 磁控溅射仪 |
DE5500高真空磁控溅射仪配备两个溅射腔体且每个溅射腔体有四个磁控溅射源，可在最大6英寸基片上沉积金属、半导体、介质材料薄膜，可用于溅射沉积多层薄膜和共溅合金薄膜。并且基片可通过LOAD LOCK腔体在所有腔体之间传送。 | 300元/小时 | 600元/小时 | 600元/人 | 杨康江 电话：18800128574 |
宋瑞祥 电话：18307286039 |
| PlasmaPro100 Cobra 180 感应耦合等离子刻蚀机 |
刻蚀材料：硅、氧化硅、氮化硅等工艺气体：CF6、CF4、CHF3、C4F8、O2、Ar、PN2 辅助气体：He、N2 晶圆尺寸：碎片、4英寸(ICP源4英寸, Holder 最大8英寸) 射频电源功率：RF：600W,13.56MHz；ICP：3kW, 13.56MHz |
300元/小时 | 600元/小时 | 300元/人 | 杨康江 电话：18800128574 |
王非凡 电话：18810521574 |
| 004-1023-000 原子力显微镜 |
300元/小时 | 600元/小时 | 300元/人 | 杨康江 电话：18800128574 |
杨康江 电话：18800128574 |
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JETFIRST 100C 快速退火炉 |
300元/小时 | 600元/小时 | 600元/人 | 杨康江 电话：18800128574 |
杨康江 电话：18800128574 |
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ISC150 离子溅射仪 |
采用进口品牌高性能旋片泵快速产生一个＜1-2Pa的真空压强，通常抽真空时间小于3-5分钟。采用高品质恒功率磁控溅射电源，以确保恒定镀膜沉积速率。磁控阴极的使用也大幅度减少等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于追求更高分辨率或温度敏感SEM电镜样品的喷金、喷铂等贵金属镀膜用途。触摸屏控制，即插即用。 | -- | -- | -- | 杨康江 电话：18800128574 |
杨康江 电话：18800128574 |
| Fineplacer Lambda 多用途亚微米贴片机 |
提供了±0.5微米的贴装精度，适用于各类精确定位、芯片贴装（倒装芯片或正装芯片）以及各类高端封装，例如：VCSEL / VCSEL阵列、光电二极管 /光电二极管阵列、镜头的封装；激光巴条、功率激光器以及功率发光二极管的贴装；微组装以及高端器件封装，例如MEMS和MOEMS、传感器、微光学器件、嵌入式芯片、多芯片模块 (MCM)、表面贴装光学器件、堆叠芯片等的封装；各种倒装芯片焊接；芯片到晶圆贴装 (D2W)。 | 300元/小时 | 500元/小时 | 300元/人 | 杨康江 电话：18800128574 |
杨康江 电话：18800128574 |
| Flimetrics F20 膜厚计 |
对薄膜样品进行无接触的无损测量，可测量薄膜厚度、光学常数，材料的反射率和透过率，测量迅速、操作简单。常用于测量二氧化硅，氮化硅，硅，光刻胶等多种材料的薄膜厚度。光谱范围380nm-1050nm, 厚度测量范围 15nm-70um， 可测量样品尺寸 直径1mm-300mm。 | -- | -- | -- | 杨康江 电话：18800128574 |
杨康江 电话：18800128574 |
| 超净间基础使用 | -- | 500元/月 | 800元/月 | -- | 杨康江 电话：18800128574 |
杨康江 电话：18800128574 |
实验室实行开放的运行方式，用户需要参加仪器设备操作培训，并获得独立操作资格后才能操作使用仪器设备。经多次培训仍不能正确操作仪器设备者，将被建议取消培训资格，培训费用照常收取。表中所列收费标准适用于用户自主独立操作使用仪器设备的方式；若需实验室工作人员代为操作完成实验，需加收服务费。
付费方式：对于校内其他用户，收到账单后一周内以校内项目转账的方式支付；对于校外用户，收到账单后一周内以汇款、支票或现金支付，将由北京大学财务部门开具正规发票。