北京大学先进光子集成平台用户使用规范

为共同维护超净间环境，保障设备平稳运行，经超净间管理团队讨论，设立此使用规范，管理超净间用户与机器设备、物品、原物料等。本规范自2024年4月17日开始实施，本次更新于2024年9月30日。如有后续更新，以网站通知为准。

一、 超净间进出规范

第1条 超净室工作人员必须经过专业安全培训和至少一台大型设备培训，由导师签字同意超净间相关条款后，方可获得超净间准入权限。如超净间内人员密度过高，不得继续进入。配套设施和环境由使用大型设备的用户优先使用，同等条件下遵循先到先用原则。

第2条 无超净室进入权限人员要进入超净室，须经管理员同意，并严格遵守超净室的有关规章制度。有权限人员须全程监督无权限人员，如违背任何安全规范，有权限人员承担同等责任，接受相同处罚措施。

第3条 夜间时段（22:00-8:00），仅经过超净间团队评估的资深用户可使用超净间。夜间使用时，必须登记另一位具有夜间权限的用户作为安全紧急联络人。安全紧急联络人须保持在线，在发生任何问题时能被及时联系、迅速赶到超净间。

第4条 进入超净室人员应严格执行净化程序，包括戴丁腈手套、一次性头套、口罩、手机防尘袋、穿超净服及鞋套、拖鞋，穿戴完整后进入风淋室。穿非超净服人员严禁进入超净室。只能在更衣室内穿、脱超净服，不可在其它地方穿脱。不可将超净服、鞋套等随意置于地板上。超净服、超净室内拖鞋不允许穿出超净室。严禁在超净间内吃喝、吸烟等。以上穿戴规范在超净间内须全程遵守，不可中途摘脱衣物。

第5条 禁止私自关闭或调整超净间FFU过滤系统和空调。

第6条 进出超净间必须随手关门。非紧急情况，严禁打开百级间通向楼道的逃生门。禁止倚靠逃生门。

第7条 超净服穿着注意事项:换穿超净服过程中，应尽量避免超净服接触地面。超净服拉链均应拉到底；魔术粘应粘妥；帽子戴好。穿上超净服后，便服裤脚、帽子、袖口等不可外露，均应包覆在超净服内。应随时注意头发不可外露。超净服若有破损、脏污、拉链损坏、松紧带松弛、魔术粘掉落等情况发生时，该件应立即停止使用，联系管理员。

第8条 凡与工作无关的个人物品，装饰物品及书籍均不得带入超净室，严禁使用非超净间专用的器械或物品。下列物品一律禁止携入无尘室：笔记本电脑、平板电脑；铅笔、橡皮擦、修正液(修正带)等易发尘或挥发的文具；普通纸类、纸箱、普通笔记簿、纸制活页夹等；及其它易污染环境或制造微粒的物品。

第9条 禁止戴耳机进入超净间，以免发生危险。

第10条 进入超净室的材料、仪器、设备、工具等应进行洗消等必要的洁净处理，以减少环境的污染。

二、 设备使用规范

第11条 各设备使用均须遵守由各设备管理员通知的使用规范。规则详情及惩罚措施以设备管理员通知为准。

第12条 严禁私自拔除设备电源、擅动设备水路气路等。所有气体阀门，仅氮气枪处减压阀可调整，其他气体阀门如无设备使用需求禁止调整。

第13条 严禁未经培训私自使用无权限的仪器设备；严禁替无权限人员预约设备。替他人预约设备，导致设备出现问题的，预约人与使用人一并处罚。

第14条 各大型仪器的配套设备，包括但不限于通风橱、干燥柜、匀胶机、膜厚计等，及超净间相应配套环境，优先供给有大型设备使用需求的用户使用。

第15条 严格按照操作流程及预约机时使用设备并登记，保证登记信息完整、真实。用后须复原仪器。

第16条 若发现设备出现故障，任何用户都有义务及时报告给设备管理员，不可私自操作。紧急情况下，可直接电话联系各设备管理员。

第17条 有权限但对设备不熟悉人员应在能及时联系到管理员的情况下进行操作，如有禁止使用时段，以设备管理员通知为准。

三、 化学品使用规范

第18条 如需自带化学试剂进入，须联系管理员并自行提供安全技术说明书（MSDS），经允许后，在固定时间段带入，在规定的时限内存放。试剂用完后需重新申请方可带新试剂进入。

第19条 任何化学试剂，包括但不限于溶液、粉末等，如需开盖使用，必须在通风橱内操作。通风橱使用时应打开风机，拉下防护窗。操作化学试剂时，禁止将头伸入通风橱。自备化学操作相关容器及防护用具。

第20条 若需要暂时放置试剂一段时间，务必放在通风橱内，须标明所放何物、放置人、放置时段及联系方式，并保持风机打开。单次最长放置时间为24小时。

第21条 试剂操作必须考虑到试剂特性，严禁超出沸点加热试剂，严禁违背试剂MSDS规范的危险操作。除使用极少量乙醇进行必要擦拭外，使用任何化学品均必须在通风橱内操作，并确保风机处在正常工作状态。若所操作的试剂具有挥发性，需加盖盖子。

第22条 如化学品发生喷溅、遗撒，必须第一时间联系管理员，在保证个人安全的情况下在现场进行看守，避免他人误触。危险化学品及时使用应急措施进行个人防护。

第23条 由管理员允许带入的特殊试剂应存放在相应的位置，如危险品试剂柜、冰箱中，并进行相应标注。试剂单次申请存放上限为6个月。超净间进行试剂清理时，必须按照清理规则整理试剂，逾期未整理的一律由管理员丢弃。

第24条 热板进行加热时，务必有人看守，不得离开超净间。热板使用完毕后禁止关闭电源。

第25条 有机废液和TMAH相关废液按标记倒入通风橱的废液口中，不可直接倒入水池；其他废液应在与管理员联系后建立废液瓶，倒入废液瓶中。通风橱发生废液液位报警时请联系管理员。

第26条 沾染光刻胶等有毒挥发性试剂的废物，务必丢入医疗废物桶中。

第27条 超纯水机用完之后，须及时盖上盖子。

第28条 在通风橱内使用化学试剂的用户，须及时倾倒废液。最后一个使用完通风橱并关闭的人，务必确保通风橱内没有挥发性液体。

第29条 进行新的酸碱、危险化学品、有毒试剂实验前，必须向管理员报备确认，完善安全措施，并经许可后方可使用。使用前必须确认安全措施完备，使用时需向周围用户说明其危险性，使用后按规处理废液和废弃物，及时规范登记。

四、 环境维护规范

第30条 严禁移动和使用他人物品，包括工具、物料、容器等。保管好自己实验用品并标记。严禁私自修改、删除、复制他人的工艺recipe和存放在超净间内的资料。

第31条 向超净间内运送物品，必须采用必要措施保证物品表面洁净。为维护百级区的洁净度，禁止把常置于百级区的物品拿出百级区；禁止把其他区域的常置物品拿入百级区。

第32条 工作台使用完毕后及时清理。样品碎屑、玻璃制品等易碎品扔入刻蚀机旁桌上的黄色垃圾桶内，其他垃圾如无尘纸等，扔入置于地面的垃圾桶中。

第33条 无尘纸按需取用，请勿多取。

第34条 禁止带入手机充电器进行手机充电。

第35条 保持超净间内卫生整洁，公用工具用完及时归位。及时清理SEM、磁控、打线机等设备附近的导电胶。

第36条 离开超净间时，须整理、摆放整齐自己的衣服、鞋套、拖鞋，将一次性头套、手套、手机防尘袋等垃圾丢入垃圾桶。

五、 违规惩罚措施

第37条 超净间违规处分分为：警告并通报导师及用户群、机时罚款、暂时停止单个设备使用权限、暂时停止超净间使用权限、永久停止超净间使用权限。如重复违规，惩罚逐次加重。

第38条 违反超净间进出规则的，首次警告并通报导师及用户群，如重复违规，惩罚逐次加重。其中，违反第1、2条的，首次即永久停止所在课题组超净间使用权限。违反3-6条的，首次即停止该用户超净间使用权限一个月。

第39条 违反设备使用规则的，首次警告并通报导师及用户群，并暂停设备使用权限一个月。视情节轻重，额外处以3倍机时罚款、停止一个月该组所有人本仪器使用权限、永久停止课题组设备使用权限等。违背设备管理员发布细则的，按设备管理员公布的处罚措施为准。

第40条 因使用不当造成超净间环境或设备损坏和安全隐患的，设备维修费用由用户所在课题组承担；维修期间的影响使用的全部设备机时折算为机时费，由用户所在课题组承担。

第41条 超净间设备预约失信，如迟到或拖延下机等，将在超净间预约系统中自动扣除信用分，信用分扣完后将进入黑名单，所有设备不可预约。信用分每年重置一次，进入黑名单后，管理员将给予冷却期一周，一周后方可重新预约设备。若重复进入黑名单，则冷却期延长。

第42条 违背化学品使用规范的，首次警告并通报导师及用户群，暂停超净间使用权限一个月。化学品使用实验须全部重新报备。造成恶劣影响的，永久停止课题组超净间使用权限。如造成用户人身安全损害、超净间环境或设备损害，需负责赔偿。

第43条 违背环境维护规范的，首次警告并通报导师及用户群，暂停超净间使用权限一周。多次违反则加重惩罚。违背第30条的，违规用户额外自行与受影响用户协商赔偿措施。

第44条 除以上常规处罚措施之外，如经超净间管理团队评估，用户违规造成恶劣影响，则惩罚措施加重。