先进光子集成公共平台
先进光子集成公共平台挂靠区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室（北京大学），是北京大学开展与促进光子芯片研制及多学科交叉研究的重要创新平台。本公共平台的建设目标是建成集微米、纳米加工、制造和检测手段于一体的，开放式、一站式科研实验室，为北京大学各相关学科以及校外科研机构提供一个全方位的科研与创新平台。
平台拥有实验室总面积约500平米，其中百级洁净区100平米，千级洁净区200平米，拥有先进的微纳加工设备及测试设备：电子束曝光机、扫描电镜、磁控溅射仪、等离子刻蚀机、快速退火炉、精密贴片机、匀胶机、离子溅射仪、膜厚计、原子力显微镜、任意波形发生器、高速采样示波器、信号分析仪、网络分析仪等。
平台定位于微纳技术发展前沿，结合校内电子、集成电路、物理、化学、材料等相关学科的需求特点，建设基于多种半导体衬底材料的微米/纳米图形制备、薄膜沉积/生长、干法及湿法刻蚀、表征测试及封装的体系化、模块化工艺链，适用于微纳电子器件、光电子器件、功率器件、MEMS、二维材料器件、柔性/可穿戴电子器件、集成电路芯片等工艺的微纳加工。
平台地址:
北京市海淀区北京大学
理科二号楼四层
工作时间:
Monday to Friday: 7am - 7pm
Weekend: 10am - 5pm
联系邮箱:
2306795013@pku.edu.cn
联系电话:
(010) 6275 6378
18800128574